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產(chǎn)品描述
紫外離軸拋物面反射鏡（OAP） 增強(qiáng)型金屬鍍膜可在深紫外（DUV）和可見光譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高反射率 設(shè)計(jì)波長(zhǎng) 190nm 表面粗糙度 50Å RMS
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TECHSPEC®紫外離軸拋物面反射鏡的增強(qiáng)型金屬鍍膜可在深紫外（DUV）和可見光譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高反射率；設(shè)計(jì)波長(zhǎng) 190nm；表面粗糙度 50Å RMS。