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產(chǎn)品分類
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| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
| 型號 |  | ||||
| XMS50-S | XMS100-S | XMS160-S | XML210-S | XML350-S | |
| 行程范圍 | 50 mm | 100 mm | 160 mm | 210 mm | 350 mm |
| 最大速度 | 300 mm/s | 300 mm/s | 300 mm/s | 300 mm/s | 300 mm/s |
| 中心負載能力 | 100 N | 100 N | 100 N | 300 N | 300 N |
| 精度，典型值 | ±0.2 µm | ±0.3 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm |
| 精度，保證值 | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±1.5 µm | ±1.5 µm |
| 最小位移增量 2 | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm |
| 雙向重復(fù)精度，典型值 | ±0.030 µm | ±0.030 µm | ±0.030 µm | ±0.032 µm | ±0.035 µm |
| 雙向重復(fù)精度，保證值 | ±0.040 µm | ±0.040 µm | ±0.040 µm | ±0.040 µm | ±0.040 µm |
| 連續(xù)運動力 3 | 25 N | 25 N | 25 N | 50 N | 50 N |
| 峰值驅(qū)動力 | 100 N | 100 N | 100 N | 240 N | 240 N |
| 偏擺，典型值 | ±10 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad |
| 偏擺，保證值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad | ±40 µrad | ±40 µrad |
| 俯仰，典型值 | ±10 µrad | ±12 µrad | ±12 µrad | ±15 µrad | ±20 µrad |
| 俯仰，保證值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad | ±50 µrad | ±50 µrad |
| 平面度，典型值（保證值） 4 | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.75 (±1.50) µm | ±0.75 (±1.50) µm |
| 直線度典型值（保證值） 5 | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.75 (±1.50) µm | ±0.75 (±1.50) µm |
| 俯仰順應(yīng)性 | 6.0 µrad/Nm | 2.5 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 0.7 µrad/Nm |
| 偏擺順應(yīng)性 | 8.0 µrad/Nm | 3.5 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 1.0 µrad/Nm | 0.2 µrad/Nm |
| 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性 | 3.5 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 1.5 µrad/Nm | 0.5 µrad/Nm | 0.1 µrad/Nm |
| 原點重復(fù)精度 | ±0.025 µm | ±0.025 µm | ±0.025 µm | ±0.025 µm | ±0.025 µm |
| 重量 | 2.5 kg | 3.5 kg | 4.5 kg | 13 kg | 22 kg |
| MTBF | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) |
最大速度取決于驅(qū)動器。 聯(lián)系Newport以獲得更多信息。
最小增量運動（MIM） 取決于驅(qū)動器類型和環(huán)境，有關(guān)更多信息，請查閱數(shù)據(jù)表。
連續(xù)運動力與驅(qū)動器相關(guān)。聯(lián)系Newport 以了解更多信息。
行程中部80%。要得到弧秒單位，請將 µrad 值除以 4.8。
XM平移臺是激光微加工、標(biāo)記、切割和納米圖案形成等應(yīng)用的理想平移臺。此視頻顯示兩個XM平移臺堆疊在由NewportXPS控制器驅(qū)動的2軸(XY)系統(tǒng)中，用于與振鏡掃描器同步的復(fù)雜、平滑、超高精度運動。
XM系列直接驅(qū)動平移臺為苛刻的應(yīng)用提供超高精度運動。此視頻顯示由兩個XM平移臺和一個xms-v垂直平移臺組成的組件，該組件提供3個軸(XYZ)的運動，可用于聚焦、傳感器測試/校準(zhǔn)、直接激光光刻和精密組裝等應(yīng)用。
超精密設(shè)計和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線性平移臺系列能夠在受控環(huán)境中通過一致的命令控制 1 nm MIM。
XM-S平移臺能夠在受控環(huán)境中使用XPS-D控制器進行1-nm增量運動。
與螺釘驅(qū)動平移臺不同，XM采用中心驅(qū)動、無鐵芯線性電機作為驅(qū)動元件。由于線性電機是無摩擦的直接驅(qū)動設(shè)備，因此沒有限制運動性能的側(cè)隙或滯后、卷繞或靜摩擦。線性電機驅(qū)動器還具有更高的速度、加速度和系統(tǒng)響應(yīng)性的優(yōu)點，同時沒有電機電刷或驅(qū)動螺釘?shù)哪p。超大、無鐵芯電機線圈能確保零齒槽，實現(xiàn)超平滑速度控制，與其他平移臺設(shè)計相比，具有更高的效率。這將導(dǎo)致產(chǎn)生的熱量顯著減少，發(fā)熱通常是超精密運動應(yīng)用的主要限制因素。為了進一步改善熱管理及其對平移臺性能的影響，XM 平移臺還具有一個優(yōu)點，其磁軌和平移臺托架之間采用了成熟的全程去耦機制。
XM平移臺在連續(xù)掃描或激光加工應(yīng)用中提供出色的速度穩(wěn)定性。 顯示的是使用干涉儀以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。
為了確保精確的軌跡控制，XM平移臺具有配套的同類最佳防蠕動式交叉滾子軸承對。這些軸承中沒有再循環(huán)元件，因此可以為苛刻的掃描和檢測系統(tǒng)提供充足的無波紋運動。而且，齒輪保持架會防止軸承罩移位，其他直線軸承產(chǎn)品可能出現(xiàn)此類移位。
線性誤差校正后XMS50-S平移臺的精度，當(dāng)級以100毫米/秒的速度運動時，以10 khz的速率動態(tài)測量。
在 XM 上使用的 T 形托架為精密 XY 組件提供了最佳解決方案，同時不會影響平移臺預(yù)載荷。與具有 C 形托架設(shè)計的平移臺相比，它更加堅固，并能適應(yīng)非理想的安裝條件。
表面平整度是影響運動系統(tǒng)定位精度和可重復(fù)定位精度的主要因素。經(jīng)過研磨的花崗巖板是市面上可以買到的最平坦表面之一。花崗巖具有緊密的平面度公差和較高的硬度，使其成為補充 Newport 超精密線性電機 XM 系列平移臺的必然選擇。GB 系列花崗巖底座采用 3 點安裝，可安裝在非平面平臺上。邊緣手柄可用于處理底座以及將底座定位在工作表面上。
對于苛刻的定位應(yīng)用，Newport提供微定位校準(zhǔn)服務(wù)。當(dāng)我們的XPS高級運動控制系統(tǒng)發(fā)出指令時，我們將創(chuàng)建、實施和驗證電子補償過程，從而提高 Newport XM 平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準(zhǔn)服務(wù)。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準(zhǔn)證書，也可根據(jù)要求提供實際數(shù)據(jù)。
高精密線性標(biāo)尺提供了精確的位置反饋。該低熱膨脹標(biāo)尺精確對準(zhǔn)并安裝在平移臺中心，將溫度變化對平移臺的可重復(fù)定位性和定位精度的影響降至很低。編碼器信號由具有亞納米分辨率和小于 1 nm 噪聲的 Newport XPS 運動控制器進行插值，從而實現(xiàn)出色的定位靈敏度和穩(wěn)定性。絕對原點位置和極限信號集成到編碼器標(biāo)尺上，無需任何其他電子或機械結(jié)構(gòu)，便可提高可靠性和精度。
XM平移臺是由應(yīng)力消除的高強度鋁加工而成，能確保長期的強度和穩(wěn)定性。所有關(guān)鍵的平移臺表面都進行多次加工，然后在嚴(yán)格的溫度和質(zhì)量控制下進行精密磨削，以進一步提高整體性能和精度。
所有 XM 平移臺電子設(shè)備都固定到穩(wěn)定的底座，因此平移臺內(nèi)部沒有移動電纜。這種設(shè)計非常緊湊，并具有出色的可靠性和安全性。節(jié)省空間的固定讀頭設(shè)計避免了在平移臺內(nèi)部添加移動電纜，并加強了 XM 平移臺的穩(wěn)健性和可靠性，例如將 MTBF 提高到 20,000 小時。
Newport保證按照ASME B5.57和ISO 230-2標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)范值。典型性能值是保證規(guī)格的兩倍。
Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.
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