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產(chǎn)品分類
| 品牌 | Newport/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
| 型號(hào) |  | ||||
| ILS50BPP | ILS100BPP | ILS150BPP | ILS200BPP | ILS250BPP | |
| 行程范圍 | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm |
| 最大速度 | 50 mm/s | 50 mm/s | 50 mm/s | 50 mm/s | 50 mm/s |
| 最小位移增量 | 1000 nm | 1000 nm | 1000 nm | 1000 nm | 1000 nm |
| 中心負(fù)載能力 | 250 N | 250 N | 250 N | 250 N | 250 N |
| 軸向負(fù)載 (+Cx) | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N | 40 N |
| 逆軸向負(fù)載能力 (-Cx) | -40 N | -40 N | -40 N | -40 N | -40 N |
| 精度，典型值 | ±0.6 µm | ±0.8 µm | ±1.5 µm | ±1.2 µm | ±1.7 µm |
| 精度，保證值 | ±1.5 µm | ±2.0 µm | ±2.5 µm | ±3.75 µm | ±5.0 µm |
| 單向重復(fù)精度，典型值 | ±0.20 µm | ±0.25 µm | ±0.25 µm | ±0.35 µm | ±0.35 µm |
| 單向重復(fù)精度，保證值 | ±0.50 µm | ±0.50 µm | ±0.50 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm |
| 雙向重復(fù)精度，典型值 | ±0.40 µm | ±0.45 µm | ±0.45 µm | ±0.55 µm | ±0.60 µm |
| 雙向重復(fù)精度，保證值 | ±1.0 µm | ±1.0 µm | ±1.0 µm | ±1.0 µm | ±1.0 µm |
| 俯仰，典型值 | ±15 µrad | ±20 µrad | ±37 µrad | ±75 µrad | ±42 µrad |
| 俯仰，保證值 | ±25 µrad | ±50 µrad | ±75 µrad | ±100 µrad | ±125 µrad |
| 俯仰順應(yīng)性 | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm |
| 偏擺，典型值 | ±12 µrad | ±17 µrad | ±20 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad |
| 偏擺，保證值 | ±25 µrad | ±37 µrad | ±65 µrad | ±80 µrad | ±95 µrad |
| 偏擺順應(yīng)性 | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm | 10 µrad/Nm |
| 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性 | 15 µrad/Nm | 15 µrad/Nm | 15 µrad/Nm | 15 µrad/Nm | 15 µrad/Nm |
| 原點(diǎn)重復(fù)精度 | ±0.5 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm | 0.5 µm |
| 電纜長(zhǎng)度 | 3 m | 3 m | 3 m | 3 m | 3 m |
| 螺紋類型 1 | 2001-4-20 | 2001-4-20 | 2001-4-20 | 2001-4-20 | 2001-4-20 |
| 重量 | 4.2 kg | 4.5 kg | 4.8 kg | 5.1 kg | 5.4 kg |
| MTBF | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) |
注釋:
公制 M- 版本可供選擇。
對(duì)于要求不高的應(yīng)用，步進(jìn)電機(jī)可能是比直流電機(jī)更經(jīng)濟(jì)的解決方案。 步進(jìn)電機(jī)使用磁吸和排斥的基本原理進(jìn)行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機(jī)械軸的旋轉(zhuǎn)。 為了提高運(yùn)動(dòng)的分辨率和平滑度，這些階段均具有微米步距功能，這是一種將運(yùn)動(dòng)的完整步長(zhǎng)以電子方式劃分為大量局部步長(zhǎng)的方法。
微步進(jìn)電機(jī)基本工作原理
ILS Series stages are available with the following motors:
●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.
●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.
●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.
| ILS-CC (DC Motor) | ILS-BPP (Stepper Motor) | ILS-LM (Linear Motor) | |
| Travel Range (mm) | 50 / 100 / 150 / 200 / 250 | 50 / 100 / 150 / 200 / 250 | 100 / 200 / 300 |
| Maximum Speed (mm/s) | 100 | 50 | 500 |
| Minimum Incremental Motion (nm) | 1000 | 1000 | 10 |
| Uni-directional Repeatability, Guaranteed (µm) | ±0.5 | ±0.5 | |
| Bi-directional Repeatability Guaranteed (µm) | ±1.00 | ±1.0 | ±0.3 |
| Accuracy, Guaranteed (µm) | ±1.5 / ±2.0 / ±2.5 / ±3.75 / ±5.0 | ±1.5 / ±2.0 / ±2.5 / ±3.75 / ±5.0 | ±1.5 / ±2.0 / ±2.5 |
有限元法（FEM）用于優(yōu)化ILS系列舞臺(tái)鋁制車體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而在不降低重量的情況下實(shí)現(xiàn)很高的剛度并大程度地減少了雙金屬?gòu)澢?剛體設(shè)計(jì)減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺(tái)設(shè)計(jì)中實(shí)現(xiàn)了最高的性能。 還提供了FEM優(yōu)化的IMS平臺(tái)，可提供更長(zhǎng)的行程范圍，更高的負(fù)載能力和更大的移動(dòng)平臺(tái)。
步進(jìn)電機(jī)通常是開(kāi)環(huán)運(yùn)行，其位置取決于命令的步數(shù)和微米步徑。 在要求的扭矩和速度范圍內(nèi)使用時(shí)，此功能可靠地工作。 但是，步進(jìn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)超出其要求范圍將變得不可預(yù)測(cè)。 為避免螺絲/電機(jī)耦合錯(cuò)誤，這些級(jí)的位置測(cè)量值應(yīng)以4000 cts / rev的速度讀取。 旋轉(zhuǎn)編碼器直接位于螺釘上。
借助精確的線性軌跡，循環(huán)滾珠軸承滑軌可提供優(yōu)異的有效載荷和更長(zhǎng)的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問(wèn)題，該問(wèn)題通常出現(xiàn)在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。
ILS 平移臺(tái)包含有預(yù)裝的無(wú)側(cè)隙滾珠絲杠，可實(shí)現(xiàn)具有較短步進(jìn)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間的平滑且快速的運(yùn)動(dòng)。螺桿型材的設(shè)計(jì)在于減少熱效應(yīng)，從而延長(zhǎng)平移臺(tái)的使用壽命。
牢固的頂蓋可防止傳動(dòng)系統(tǒng)的損壞，并且可使其免受灰塵和碎屑的影響。ILS 系列平移臺(tái)還配有實(shí)現(xiàn)可重復(fù)初始化的位于行程中心的原點(diǎn)、防止超程的限位開(kāi)關(guān)以及用于平穩(wěn)緊急制動(dòng)的彈性行程終點(diǎn)阻尼器。
Newport的標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)平移臺(tái)和部件可以很容易地組合，以創(chuàng)建數(shù)百種可能的多軸系統(tǒng)。根據(jù)產(chǎn)品和應(yīng)用的不同，我們的標(biāo)準(zhǔn)組件提供以下精密對(duì)準(zhǔn):
●Orthogonality to 50 µrad
●Axes Coincidence to 20 µm
IMS300線性平移臺(tái)（X軸）和ILS150線性平移臺(tái)（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個(gè)線性運(yùn)動(dòng)軸上實(shí)現(xiàn)高精度。
ILS150線性位移臺(tái)（X軸）和URS100旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)（θz角）直接安裝在一個(gè)直線運(yùn)動(dòng)的軸和一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的軸上，以實(shí)現(xiàn)高精度和高精度。
IMS線性平移臺(tái)（X軸），一個(gè)ILS線性平移臺(tái)(Y軸）直接安裝到IMS，ILS線性平移臺(tái)安裝在一個(gè)EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個(gè)線性運(yùn)動(dòng)軸上提供高精度。
ILS線性位移臺(tái)和 RV旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)安裝在
ILS250線性位移臺(tái)（X軸）， GTS30V垂直位移臺(tái)（Z軸）和 URS100旋轉(zhuǎn)臺(tái)（Θz角）直接安裝 在兩個(gè)線性運(yùn)動(dòng)軸和一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸上，具有較高的精度和精度。
IMS300線性平移臺(tái)（X軸），一個(gè)ILS150線性平移臺(tái)（Y軸）和一個(gè)URS100轉(zhuǎn)臺(tái) (Θz 角)直接安裝在一起，以便在兩個(gè)線性運(yùn)動(dòng)軸和一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸上實(shí)現(xiàn)高精度。
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible motion controllers for these stepper motor driven stages are shown below:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
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